Gelblicht für die Halbleiterfertigung – präzise, UV-sicher, reinraumtauglich

Normales LED-Licht – auch warmweißes – enthält immer UV- und Blauanteile unter 500 nm. Diese Wellenlängen aktivieren photosensitive Materialien wie Fotoresists und können Lithografieprozesse ungewollt beeinflussen.

Gelblicht filtert diese kritischen Bereiche vollständig heraus und liefert ausschließlich langwelliges, sicheres Licht um 590 nm. So wird ausreichende Sichtbarkeit gewährleistet, ohne photoreaktive Prozesse zu gefährden.

In der Halbleiterindustrie hat sich ein Wellenlängenbereich von 585–595 nm als Standard etabliert, mit einem Peak typischerweise bei 590 nm. Dieser Bereich bietet die optimale Balance zwischen ausreichender Helligkeit und sicherer Filterung aller UV- und kurzwelligen Blauanteile, die Fotoresists oder andere lichtempfindliche Materialien beeinträchtigen könnten.

Fotolack reagiert empfindlich auf Wellenlängen unterhalb von etwa 500 nm – insbesondere UV- und Blaulichtanteile. Eine Beleuchtung, die Fotolack nicht stört, muss diese Spektralbereiche vollständig eliminieren.

DIANA Gelblicht-Systeme sind präzise auf diesen Anforderungsbereich abgestimmt und gewährleisten durch strikte Wellenlängenkontrolle, dass keine schädigenden Strahlungsanteile den Reinraum erreichen.

Ja, absolut. Gelblicht wird zwar primär in der Fotolithografie eingesetzt, eignet sich aber auch für andere Anwendungen, in denen UV-Exposition vermieden werden muss – etwa in der Lackverarbeitung, Beschichtungstechnik oder in Forschungsumgebungen mit lichtempfindlichen Chemikalien.

Darüber hinaus erfüllen DIANA Gelblicht-Leuchten alle Anforderungen an allgemeine Reinraumbeleuchtung: Partikelfreiheit, leichte Reinigung, hohe Langlebigkeit und Flicker-Freiheit.

In modernen Halbleiterprozessen arbeiten Sie mit extrem empfindlichen photoreaktiven Materialien. Bereits geringste UV-Belastung kann zu Produktionsausschuss, Qualitätsverlust oder Prozessinstabilität führen.

UV-sichere Beleuchtung ist deshalb kein optionales Feature, sondern eine produktionskritische Grundvoraussetzung. Sie schützt Ihre Investition in Materialien, Maschinen und Prozesse – und sichert die gleichbleibend hohe Qualität Ihrer Produkte.

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